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清洗架

申请号：CN201310167831.3 申请公布号： CN103258766B
申请日： 2013-05-09 申请公布日： 2016-08-24
申请（专利权）人：北京市塑料研究所 专利代理机构： -
分类号：H01L21/673(2006.01)I

专利介绍

一种半导体硅片承载器清洗架,其具有以下结构:一个顶部开口和一个底部开口;位于上部的一对提把,所述每个提把为多个横条及竖条组成的多个框架的集合,每个提把的顶部为一横梁,每个提把的两侧为斜梁支撑;位于下部的立方体容器,所述一对提把分别连接在所述立方体容器两个相对边的上部,所述两个相对边都向两侧延伸出瓦状顶杆,所述两个相对边所在的相对面上竖直排列着至少两个加强条,所述立方体容器的另外两个相对面完全中空,所述立方体容器底部侧边中心和四角具有多个定位块,所述底部还具有固定装置。

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